什么是微纳米电子机械系统,MEMS是一种基于微型/纳米技术的21世纪的前沿技术，使其设计，加工，制造和控制微米/纳米材料的技术。它可以将机械部件，光学系统，驱动元件，电子控制系统和数字处理系统集成到迷你中单片单元的系统。本发明的微电子机械系统不仅可以获取，处理和传输信息或指示，还可以自主地或根据所获取的信息进行自主或根据所获取的信息。它结合了微电子技术和微加工技术（包括硅片微拍，硅表面微工艺，LIGA和晶片键合等技术）以制造出色的性能，低价格，小型化传感器。递答器，驱动器和微系统。
什么是MEMS技术?,MEMS是一种与IC（千分尺/纳米级）集成的微系统，其是一种智能微型系统，基于硅微处理技术，但不限于此。简单地说，MEMS是系统级芯片的进一步集成。我们几乎可以在单个芯片上整合任何芯片，如运动器件，光学系统，发音系统，化学分析，无线系统和计算系统等，MEMS技术是一种多学科技术。MEMS器件的价格低，性能优异，适用于各种应用，这将成为影响未来生命的重要技术之一。微电子机械系统（MEMS）技术是基于微/纳米技术的21世纪技术建立，是指设计，加工，制造，测量和控制微米/纳米材料的技术。它可以集成机械组件，光学系统，驱动部件和电子产品将电池控制系统进入整体单元的微系统。该微电子机械系统不仅可以获取，处理和发送信息或指令，还可以根据所获取的信息或根据外部指令采取动作。它结合了微电子技术和微加工技术（包括硅片，硅表面微型工艺，LIGA和晶片键合等技术）来制造出色的性能，低价格，小型化传感器。执行器，驱动器和微系统。微电子机械系统（MEMS）是近年来开发的新型多学科技术，这将对未来的人类生活产生革命性的影响。它涉及机械，电子，化学，物理学，光学，生物，材料等。微电子机械系统（MEMS）的研究主要包括理论基础研究，制造工艺研究和应用研究。理论研究主要研究微米，微蜂，微观结构和微机械，微型传感器，微型性能等的设计原理和控制研究。设备和微妙技术的集成和组装等。;应用研究主要是研究结果，如微电机，微型阀，微型传感器和各种特殊的微机械输入。微电子机械系统（MEMS）的制造是从特殊集成电路（ASIC）技术开发的。与ASIC技术一样，它可以通过微电子工艺技术的方法生产。然而，它比ASIC更复杂，它是使用特殊材料如生物或化学活化剂如生物或化学活化剂如生物或化学活化剂的高水平的微米/纳米技术。微米制造技术包括微米材料的加工和制造。它的制造序列ESS包括：光刻，蚀刻，沉积，外延生长，扩散，离子注入，测试，监测和包装。纳米制造技术和工艺，除了一些技术（如离子束等）和工艺，包括材料的基本特征以及分子和原子地点的加工和布置技术.ART等。方法Microelectronics机械系统的制造包括LIGA工艺（光刻，电镀，铸造），声音激光蚀刻，非平面电子束照明，真空涂层（溅射），硅直接键，电火花加工，DiamondTrace切割。
微电子机械系统（MEMS）研究的尺寸范围是,MEMS研究的尺寸范围通常在微米到毫米之间定义，可区分为一般的“宏”，即传统意义上的机械规模，但不进入物理旁观者（Atom的大约1 ang的标度）.0.1nm）.Now纳米技术，NEM（即微型\u003e纳米）更注重纳米级微观研究，与MEMS相同。

责任编辑（程龙）

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