微电子机械系统（微电子机械系统前景）

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微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。微机电系统其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统。微机电系统是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。微机电系统是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统。MEMS是一项革命性的新技术，广泛应用于高新技术产业，是一项关系到国家的科技发展、经济繁荣和国防安全的关键技术。MEMS侧重于超精密机械加工，涉及微电子、材料、力学、化学、机械学诸多学科领域。它的学科面涵盖微尺度下的力、电、光、磁、声、表面等物理、化学、机械学的各分支。常见的产品包括MEMS加速度计、MEMS麦克风、微马达、微泵、微振子、MEMS光学传感器、MEMS压力传感器、MEMS陀螺仪、MEMS湿度传感器、MEMS气体传感器等等以及它们的集成产品。希望对你有帮助！
2022-01-05 11:05:58

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微通道换热器的工程背景来自20世纪80年代高密度电子设备的冷却和20世纪90年代微电子机械系统的传热问题。1981年，塔克曼和暂停提出了微通道散热器的概念; 1985年，瑞奔，Migliori和Wheatley开发了两个流体热交换的微通道热交换。在微制造技术的发展中，它能够制造由液压直径10至1000μm通道组成的微尺寸热交换器。 1986年，交叉和振动开发了一种印刷电路的微电流式换热器，体积加热系数达到7MW /（M3·k）; 1994年Friedrich和Kang发育了微观汇流系数达到45mW /（M3·k）; 2001年，江等。提出了微热管冷却系统的概念，实际上是一种微冷却系统，由电子电力泵，微冷凝器和微热P组成iPE。如果使用微量冷凝系统更换微冷凝器，可以实现高密度热电子器件的主动冷却，高速运行。
2022-01-05 11:04:50